北京屹唐半导体请求热处理设备的调温校准办法专利准确校准各条形灯的功率
来源：行业动态 发表日期：2025-06-14 04:04:11 浏览次数：1
金融界2024年12月10日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京屹唐半导体科技股份有限公司请求一项名为“热处理设备的调温校准办法、设备、设备及存储介质”的专利，揭露号 CN 119095207 A，请求日期为2024年9月。
专利摘要显现，本揭露供给了热处理设备的调温校准办法、设备、设备和存储介质。该办法有：S1、独自敞开热处理设备的多个加热灯中的方针加热灯，并将所述方针加热灯调理至榜首功率值；S2、丈量与所述方针加热灯对应的多个榜首测温点的榜首温度值；S3、依据所述多个榜首测温点的榜首温度值的平均值，调理所述方针加热灯至第二功率值，以使得所述平均值与方针工艺温度相同；S4、丈量在所述第二功率值下，多个相关测温点的第二温度值；S5、在依据所述第二温度值确认所述方针加热灯的辐射能差异满意使用上的要求的情况下，依据所述第二功率值校准所述功率温度曲线依据本揭露的计划能够准确校准各条形灯的功率，提高腔室控温精度，有助于腔室到达所需工艺温度。
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